作者:叶笛响 返回目录 加入书签
林凡立刻问道:“王老,您有什么建议?”
王老回答道:“对,我们还可以通过误差补偿技术来提高光刻机的精度。这种技术可以通过对掩模版的误差进行精确测量和修正,减小投影成像的误差,从而提高光刻机的精度。”
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